Patterning of Different Materials Inside LTCC Green Sheet Using Photo Resist Film
Patterning of Different Materials Inside LTCC Green Sheet Using Photo Resist Film
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使用光致抗蚀剂薄膜在 LTCC 生片内不同材料形成图案
DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
F.Uchikoba
中科院分区:
文献类型:
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作者:
M.Takato;F.Uchikoba