放射光X線トポグラフィによるEFG法β-Ga2O3単結晶基板の転位評価
放射光X線トポグラフィによるEFG法β-Ga2O3単結晶基板の転位評価
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使用同步加速器 X 射线形貌术的 EFG 方法评估 β-Ga2O3 单晶衬底的位错
DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
平野馨一
中科院分区:
文献类型:
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作者:
姚永昭;菅原義弘;石川由加里;高橋由美子;平野馨一