液膜のスピンコートにおける放射状スジムラの形成過程:膜厚分布の時系列変化
液膜のスピンコートにおける放射状スジムラの形成過程:膜厚分布の時系列変化
复制标题
液膜旋涂中径向条纹的形成过程:膜厚分布的时间序列变化
DOI:
--
复制
发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
永野 秀明
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
白鳥 英;加藤 大輝;島野 健仁郎;永野 秀明