高圧プラズマエッチングによるマイクロチャネルカット結晶内壁の無歪み化
高圧プラズマエッチングによるマイクロチャネルカット結晶内壁の無歪み化
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高压等离子刻蚀微通道切割晶体内壁无应变
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松村正太郎，小笠原伊織，大坂泰斗，井上伊知郎，山内和人，矢橋牧名，佐野泰久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
徳田将志，中尾舞，渡邉杜，中村瞭弥，前田将輝，Sanghyun Lee，Yue Di;青山和司，水島健，Jin Xiao-Feng，小林研介，新見康洋;藤原浩司，岩切秀一，中村瞭弥，横井雅彦，渡邉杜，小林研介，新見康洋;松村正太郎，小笠原伊織，大坂泰斗，井上伊知郎，山内和人，矢橋牧名，佐野泰久
