Arのマイクロ波放電フローを用いたアモルファス炭化ケイ素膜の形成
Arのマイクロ波放電フローを用いたアモルファス炭化ケイ素膜の形成
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利用Ar微波放电流形成非晶碳化硅薄膜
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊藤治彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大柿猛;戸田育民;赤坂大樹;齋藤秀俊;伊藤治彦
