オゾンガス内包ナノバブル添加スラリーによるSiC基板の高能率研磨加工法の研究
オゾンガス内包ナノバブル添加スラリーによるSiC基板の高能率研磨加工法の研究
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含臭氧纳米气泡浆料SiC衬底高效抛光方法研究
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤井皐司，畝田道雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hironori HIBINO;Takamasa HORIKAWA;Takayuki KOBAYASHI;and Makoto YAMAGUCHI;藤井皐司，畝田道雄
