Masaharu shiratani: "In situ Observation of Particle Behavior in rf Silane Plasmas" Jpn.J.Appl.Phys.30. 1887-1892 (1991)
Masaharu shiratani: "In situ Observation of Particle Behavior in rf Silane Plasmas" Jpn.J.Appl.Phys.30. 1887-1892 (1991)
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Masaharu shiratani：“射频硅烷等离子体中粒子行为的原位观察”Jpn.J.Appl.Phys.30。
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