遷移金属微粒子を用いた単結晶SiC基板の研磨加工
遷移金属微粒子を用いた単結晶SiC基板の研磨加工
复制标题
使用过渡金属微粒的单晶SiC基板的抛光
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久保田章亀;他
