Bilayer metal etch mask strategy for deep diamond etching
Bilayer metal etch mask strategy for deep diamond etching
复制标题
深金刚石蚀刻的双层金属蚀刻掩模策略
DOI：
10.1116/6.0001424
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发表时间：
2022
影响因子：
1.4
通讯作者：
Seo, Jung-Hun
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Zheng, Yixiong;Muehle, Matthias;Lai, Junyu;Albrecht, John D.;Seo, Jung-Hun
