インクジェット方式の1/10の線幅が可能な金属微細配線形成技術を開発

インクジェット方式の1/10の線幅が可能な金属微細配線形成技術を開発
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开发出可实现喷墨法线宽1/10的金属微细布线形成技术

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
レーザ加工学会誌 15(2)
影响因子:
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通讯作者:
渡辺明
渡辺明
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Akira Watanabe;渡辺明;渡辺明

文献摘要

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