Melting and Crystallization of Amorphous Germanium Films on Insulating Substrate By Atmospheric Pressure Micro-Thermal-Plasma-Jet
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大气压微热等离子喷射绝缘基板上非晶锗薄膜的熔化和结晶
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. Nakatani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Higash;H. Harada;and T. Nakatani
