DCパルススパッタによるa-SiOxNy成膜とその屈折率制御
DCパルススパッタによるa-SiOxNy成膜とその屈折率制御
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直流脉冲溅射a-SiOxNy薄膜形成及其折射率控制
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐々木発輝;鳴瀬皓之;依田秀彦;大谷毅;田中一郎
