水蒸気スパッタ法におけるターゲット状態の制御と酸化タンタル薄膜の作製
水蒸気スパッタ法におけるターゲット状態の制御と酸化タンタル薄膜の作製
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水蒸气溅射法靶材条件的控制及氧化钽薄膜的制备
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木場隆之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
伊藤勇佑;阿部良夫;川村みどり;金 敬鎬;木場隆之
