赤外フェムト秒レーザーによってシリコン基板裏面に形成された周期構造，
赤外フェムト秒レーザーによってシリコン基板裏面に形成された周期構造，
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使用红外飞秒激光在硅基板的背面形成周期性结构。
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊藤義郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
片岡大煕;チア シン イン;服部智哉;田辺里枝;伊藤義郎
