G.Burkhard et al.: "A Modified MPD-Arcjet System for Thim Film Deposition of Carbon and Copper" Report of RLEM,TIT. No.19. 245-261 (1994)
G.Burkhard et al.: "A Modified MPD-Arcjet System for Thim Film Deposition of Carbon and Copper" Report of RLEM,TIT. No.19. 245-261 (1994)
复制标题
G.Burkhard 等人：“用于碳和铜薄膜沉积的改进 MPD-Arcjet 系统”RLEM、TIT 的报告。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
