K. Sato: "Micro tensile-test system fabricated on a single crystal silicon chip" Proc. of IEEE MEMS Workshop. 360-364 (1996)
K. Sato: "Micro tensile-test system fabricated on a single crystal silicon chip" Proc. of IEEE MEMS Workshop. 360-364 (1996)
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K. Sato：“在单晶硅芯片上制造的微型拉伸测试系统”Proc。
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