107 Actively Controlled Seismic Isolation Floor for Ultraprecise Manufacturing Facilities
107 Actively Controlled Seismic Isolation Floor for Ultraprecise Manufacturing Facilities
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107 超精密制造设施主动控制隔震地板
DOI：
10.1299/jsmedmc.2007._107-1_
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Kubota
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akira Fukukita;Tomoo Saito;Kono Yukinobu;T. Kubota
