スピンコート法で形成したアルミナ膜のシリコン表面パッシベーション効果に関する研究
スピンコート法で形成したアルミナ膜のシリコン表面パッシベーション効果に関する研究
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旋涂法形成氧化铝薄膜的硅表面钝化效果研究
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
福田陽樹，中島義治，氷室貴大，渡邊良祐，齋藤洋司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
福田陽樹，中島義治，氷室貴大，渡邊良祐，齋藤洋司
