岡田慧、堀井辰衛、藤枝俊宣
岡田慧、堀井辰衛、藤枝俊宣
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冈田圭、堀井龙江、藤枝敏德
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
層状薄膜構造を有する静電容量型圧力センサの設計
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Kumagai Ayane;Obata Yoshinobu;Yabuki Yoshiko;Jiang Yinlai;Yokoi Hiroshi;Togo Shunta;近藤 礼皇,櫻田陽,原圭祐,磯部浩已;層状薄膜構造を有する静電容量型圧力センサの設計