森本茂豊、藤田吉紀、青山満、山口十六夫: "分光エリプソメトリによるRFスパッタa-SiN簿膜の堆積過程モニタリング"静大電研報告. 33. 119-121 (1999)

Shigetoyo Morimoto、Yoshinori Fujita、Mitsuru Aoyama、Jurokuo Yamaguchi：“通过光谱椭圆光度法监测射频溅射 a-SiN 薄膜的沉积过程”静冈大学电气研究所报告 33. 119-121 (1999)。