シリコン光チップ結合のための SMFから成長させたポリマーテーパピラー
シリコン光チップ結合のための SMFから成長させたポリマーテーパピラー
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由 SMF 生长的聚合物锥形柱用于硅光学芯片键合
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三上修
中科院分区：
文献类型：
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作者：
栗澤大河;紙浦欣輝;藤川知栄美;三上修
