高NA、油浸ラマン分光によるメサ分離ひずみSGOI層の異方性ひずみ評価
高NA、油浸ラマン分光によるメサ分離ひずみSGOI層の異方性ひずみ評価
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通过高数值孔径油浸拉曼光谱评估台面分离应变 SGOI 层的各向异性应变
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
臼田宏治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
荒井重勇;高橋可昌;山本悠太;近藤光;大田繁正;田中信夫;武井宗久;大森英樹;シティノルヒダヤー チェモハマドユソフ;大森英樹;富田基裕;Hideki Omori;池田圭司;Hideki Omori;池田圭司;OMORI Hideki;小瀬村大亮;臼田宏治
