Investigation of InAlAs oxide/InP metal-oxide-semiconductor structures formed by wet thermal oxidation

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湿热氧化形成的 InAlAs 氧化物/InP 金属氧化物半导体结构的研究

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
Japanese Journal of Applied Physics 48(掲載確定in press)
影响因子:
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通讯作者:
M. Takenaka. S. Takagi
M. Takenaka. S. Takagi
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
S. Nakagawa;M. Yokoyama;O. Ichikawa;M. Hata;M. Tanaka;M. Takenaka. S. Takagi

文献摘要

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