Micromachining with Excimer Laser
Micromachining with Excimer Laser
复制标题
准分子激光微加工
DOI：
10.1016/s0007-8506(07)62804-2
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发表时间：
1998
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
P. Giacosa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
G. Ricciardi;M. Cantello;F. Mariotti;P. Castelli;P. Giacosa
