M. Adachi, K. Okuyama and T. Fujimoto: "Gas-Phase Nucleation in an APCVD Film Formation Process using TEOS/O_3 System" Proc. 15th World Congress of Chemical Engineering. IV. 779-783 (1996)
M. Adachi, K. Okuyama and T. Fujimoto: "Gas-Phase Nucleation in an APCVD Film Formation Process using TEOS/O_3 System" Proc. 15th World Congress of Chemical Engineering. IV. 779-783 (1996)
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M. Adachi、K. Okuyama 和 T. Fujimoto：“使用 TEOS/O_3 系统的 APCVD 薄膜形成过程中的气相成核”Proc。
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