Crystallinity Improvement of Zinc Oxide Films at Low Temperature Deposition Using Reactive HiPIMS
Crystallinity Improvement of Zinc Oxide Films at Low Temperature Deposition Using Reactive HiPIMS
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使用反应性 HiPIMS 低温沉积改善氧化锌薄膜的结晶度
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kunio Okimura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Md. Suruz Mian;Miho Hagino;Rie Kawahigashi;Takeo Nakano;Kunio Okimura
