Effect of Surface Oxide Layer on Mechanical Properties of Single Crystalline Silicon
Effect of Surface Oxide Layer on Mechanical Properties of Single Crystalline Silicon
复制标题
表面氧化层对单晶硅力学性能的影响
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
O. Tabata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Miyamoto;K. Sugano;T. Tsuchiya;O. Tabata
