低ダメージスパッタ堆積プロセスを利用した有機EL素子用電極膜の作製
低ダメージスパッタ堆積プロセスを利用した有機EL素子用電極膜の作製
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采用低损伤溅射沉积工艺制造有机EL器件电极膜
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
星 陽一 濱口大地 小林信一 内田孝幸 澤田 豊 清水英彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
２）Meihan Wang;Hao Lei;Jiaxing Wen;Haibo Long;Yutaka Sawada;Yoichi Hoshi;Takayuki Uchida;Zhaoxia Hou;星 陽一 濱口大地 小林信一 内田孝幸 澤田 豊 清水英彦
