Ultrathin superconducting TaCxN1-x films prepared by plasma-enhanced atomic layer deposition with ion-energy control
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离子能量控制等离子体增强原子层沉积制备超薄超导 TaCxN1-x 薄膜
DOI：
10.1063/5.0169339
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发表时间：
2023
影响因子：
4
通讯作者：
Peeters S
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Peeters S
