MEMS局部加热封装技术与应用

MEMS局部加热封装技术与应用
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发表时间:
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期刊:
半导体技术
影响因子:
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通讯作者:
刘 胜
刘 胜
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
陈明祥;刘文明;刘 胜

文献摘要

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