小林英生: "電子注入に伴うrf放電プラズマの空間電位構造とイオンエネルギーの制御" 日本物理学会秋の分科会予稿集. part4. 118-118 (1994)

小林英生: "電子注入に伴うrf放電プラズマの空間電位構造とイオンエネルギーの制御" 日本物理学会秋の分科会予稿集. part4. 118-118 (1994)
复制标题

Hideo Kobayashi:“与电子注入相关的射频放电等离子体的空间势结构和离子能量的控制”日本物理学会秋季小组委员会会议记录第 4 部分。118-118 (1994)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献