Handbook of silicon wafer cleaning technology
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DOI：
10.1016/c2016-0-01001-x
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
W. Kern;K. Reinhardt
中科院分区：
文献类型：
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作者：
W. Kern;K. Reinhardt
