酸化物二次元ナノ結晶を用いた高誘電体材料の限界膜厚に関する研究
酸化物二次元ナノ結晶を用いた高誘電体材料の限界膜厚に関する研究
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二维氧化物纳米晶高介电材料临界厚度研究
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岡本陽平・伊田進太郎・松本泰道・石原達己
中科院分区：
文献类型：
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作者：
古賀将太;岡本陽平;伊田進太郎;萩原英久;石原達己;岡本陽平・伊田進太郎・松本泰道・石原達己
