電磁現象を利用した微細金属配線の非接触電流測定

電磁現象を利用した微細金属配線の非接触電流測定
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利用电磁现象对细金属布线进行非接触式电流测量

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
日本機械学会東北支部第41期総会・講演会講演論文集 (印刷中)
影响因子:
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通讯作者:
坂 真澄)
坂 真澄)
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
燈明 泰成;(丸山矩昭;坂 真澄)

文献摘要

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