Pressure sensors

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压力传感器

DOI:
10.1016/b978-0-12-817786-0.00047-5
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发表时间:
2020
期刊:
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies
影响因子:
--
通讯作者:
H. Timonen
H. Timonen
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
H. Timonen

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