M.Otabe,T.Katani,T.Ifuku,H.Yajima and S.Oda: "Nanocrystalline silicon formation in SiH_4 plasma cells" J.Non-cryst.Solids. 198-200. 875-878 (1996)
M.Otabe,T.Katani,T.Ifuku,H.Yajima and S.Oda: "Nanocrystalline silicon formation in SiH_4 plasma cells" J.Non-cryst.Solids. 198-200. 875-878 (1996)
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M.Otabe、T.Katani、T.Ifuku、H.Yajima 和 S.Oda：“SiH_4 等离子体细胞中纳米晶硅的形成”J.Non-cryst.Solids。
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