Formation of fine periodic structure on rear-surface of silicon substrate by femtosecond laser at 1552nm
Formation of fine periodic structure on rear-surface of silicon substrate by femtosecond laser at 1552nm
复制标题
1552nm 飞秒激光在硅衬底背面形成精细周期结构
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Ito Yoshiro
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Chiah Sin Ying;Kataoka Daiki;Tanabe Rie ;Ito Yoshiro
