Y.Ohtsu, K.Yoshinaga, H.Fujita: "Time-Averaged Energy Distribution Function of Ions Impacted on an RF-biased Substrate in Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasm"Japanese Journal Applied Physics. Vol.42. 7552-7556 (2004)
Y.Ohtsu, K.Yoshinaga, H.Fujita: "Time-Averaged Energy Distribution Function of Ions Impacted on an RF-biased Substrate in Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasm"Japanese Journal Applied Physics. Vol.42. 7552-7556 (2004)
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Y.Ohtsu、K.Yoshinaga、H.Fujita：“电子回旋共振微波等离子体中撞击 RF 偏置基底的离子的时间平均能量分布函数”日本应用物理学杂志。
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