固液界面制御による単結晶AlN膜の結晶成長

固液界面制御による単結晶AlN膜の結晶成長
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固液界面控制单晶AlN薄膜的晶体生长

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
福山博之,安達正芳
福山博之,安達正芳
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Masayoshi Adachi;Mari Takasugi;Daisuke Morikawa;Kenji Tsuda;Akikazu Tanaka;Hiroyuki Fukuyama;安達正芳,福山博之,杉山正史,飯田潤二;福山博之,安達正芳

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