Surface Acoustic Wave Properties of Amorphous Ta_2O_5 and Nb_2O_5 Thin Films Prepared by Radio Frequency Sputtering
Surface Acoustic Wave Properties of Amorphous Ta_2O_5 and Nb_2O_5 Thin Films Prepared by Radio Frequency Sputtering
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射频溅射制备非晶Ta_2O_5和Nb_2O_5薄膜的表面声波性能
DOI：
10.1143/jjap.51.07ga01
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and J.Kushibiki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Kakio;K.Hosaka;M.Arakawa;Y.Ohashi;and J.Kushibiki
