Deposition of Si-doped DLC films by reactive HiPIMS combined with PBII system
Deposition of Si-doped DLC films by reactive HiPIMS combined with PBII system
复制标题
反应性 HiPIMS 结合 PBII 系统沉积 Si 掺杂 DLC 薄膜
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Azuma
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kimura;Y. Shibata;S. Nakao;K. Azuma
