低圧環境下における高密度マイクロ波プラズマの生成
低圧環境下における高密度マイクロ波プラズマの生成
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低压环境下产生高密度微波等离子体
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期刊：
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通讯作者：
野田 智紀，中坊 将人，豊田 浩孝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ayumi Ando;Hidetaka Uno;Tsuneo Uris;Satoshi Hamaguchi;野田 智紀，中坊 将人，豊田 浩孝
