Low-residual stress ALD-Al2O3 intermediate layer for LiTaO3/quartz combined surface acoustic wave substrate 【Best Poster Award受賞】
Low-residual stress ALD-Al2O3 intermediate layer for LiTaO3/quartz combined surface acoustic wave substrate 【Best Poster Award受賞】
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用于LiTaO3/石英组合声表面波基板的低残余应力ALD-Al2O3中间层[最佳海报奖获得者]
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Jun Mizuno
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ami Tezuka;Hiroyuki Kuwae;Kosuke Yamada;Shoji Kakio;Shuichi Shoji;and Jun Mizuno
