フィルタードアーク蒸着法で形成したDLC 膜の諸特性
フィルタードアーク蒸着法で形成したDLC 膜の諸特性
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过滤电弧蒸镀法形成DLC膜的特性
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
藤井裕真,今井貴大,宮本優,須田善行,滝川浩史,田上英人,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,金子智,安井治之,國次真輔,川口雅弘,三浦 健一
中科院分区:
文献类型:
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作者:
S. Kiyohara;I. Ishikawa;Y. Shimizu;S. Yoshida;T. Harigai;H. Takikawa;M Watanabe;Y. Sugiyama;Y. Omata Y. Kurashima;今井貴大,藤井裕真,山野将史,針谷達,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広;水光俊介,藤井裕真,滝川浩史,平山朋子,大西洋;藤井裕真,今井貴大,宮本優,須田善行,滝川浩史,田上英人,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,金子智,安井治之,國次真輔,川口雅弘,三浦 健一