ボイスコイルモータを用いたDLC膜の繰返し押付け試験機の開発
ボイスコイルモータを用いたDLC膜の繰返し押付け試験機の開発
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使用音圈电机的DLC薄膜重复压制试验机的开发
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木村一貴，中村守正，松岡敬
中科院分区：
文献类型：
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作者：
NAOE Hiroaki;YOSHIDA Kohei;木村一貴，中村守正，松岡敬
