真空アーク蒸着におけるパーティクルフリーコーティング技術と応用展開
真空アーク蒸着におけるパーティクルフリーコーティング技術と応用展開
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真空电弧蒸发无颗粒镀膜技术及应用开发
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Takikawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Matsumoto;Y. Tanaka; K. Yano;H. Takikawa
