Effect of Sn implantation on thermal stability improvement of NiSiGe

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Sn注入对NiSiGe热稳定性改善的影响

DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
影响因子：
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通讯作者：
X. Wang
X. Wang
中科院分区：
其他
文献类型：
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作者：
X. Wei;Z. Di;M. Zhang;X. Wang

文献摘要

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