Multifunctional Phosphonic Acid Self-Assembled Monolayer for Metal Patterning and Ultrathin Gate Dielectrics in Fabrication of MoS2 Field-Effect Transistors
Multifunctional Phosphonic Acid Self-Assembled Monolayer for Metal Patterning and Ultrathin Gate Dielectrics in Fabrication of MoS2 Field-Effect Transistors
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用于 MoS2 场效应晶体管制造中金属图案化和超薄栅极电介质的多功能膦酸自组装单层
DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
小田 俊理
中科院分区:
文献类型:
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作者:
杜 婉静;川那子 高暢;小田 俊理