Sputtering deposition of piezoelectric PZT thin films for MEMS applications
Sputtering deposition of piezoelectric PZT thin films for MEMS applications
复制标题
用于 MEMS 应用的压电 PZT 薄膜的溅射沉积
DOI：
--
复制
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
I. Kanno
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Shintaro Nishioka;Goon Tan;Toshihito Umegaki;Isaku Kanno;I. Kanno
