Shape Evolution of High Aspect Ratio Holes on Si(001) during Hydrogen Annealing
Shape Evolution of High Aspect Ratio Holes on Si(001) during Hydrogen Annealing
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Si(001) 上高深宽比孔在氢气退火过程中的形状演化
DOI：
10.1063/1.4829912
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Kuribayashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Sudoh;R. Hiruta;H. Kuribayashi
